Dipl.-Inf. T. Stoeckel (faps)

Anbindung von Fertigungsmaschinen in der Halbleiterfertigung auf Basis einer CORBA-Kommunikationsarchitektur

Thomas Klier

Betreuer: Prof.Dr.F. Hofmann, Dipl.-Inf. T. Stoeckel (faps), Dr.-Ing. W. Bloechl (faps)

Aug. 2, 1999